详解海德汉光栅尺或编码器光电扫描原理
海德汉公司大多数光栅尺或编码器采用光电扫描原理。 对测量基准的光电扫描为非接触扫描，因此无磨损。 这种光电扫描方法能检测到非常细的线条，通常不超过几微米宽，而且能生成信号周期很小的输出信号。 测量基准的栅距越小，光电扫描的衍射现象越严重。 海德汉公司采用两种扫描方法：
成像扫描方法用于10 m至70 m栅距的光栅尺。
干涉扫描方法用于栅距8 m或更小的光栅。
海德汉光栅尺或编码器其它扫描方法
有些编码器采用其它扫描方法。 ERM编码器采用永磁的MAGNODUR磁栅，它用磁阻传感器扫描。
ECI/EQI旋转编码器采用感应式测量原理。 运动的栅条调制高频信号的幅值和相位。
海德汉光栅尺或编码器成像扫描原理
简单地说成像扫描原理是用透射光生成信号： 两个具有相同栅距的光栅尺光栅和扫描光栅彼此相对运动。 扫描掩膜的基体是透明的，而作为测量基准的光栅尺可以是透明的也可以是反射的。 当平行光穿过一个光栅时，在一定距离处形成明/暗区。 具有相同栅距的扫描光栅就位于这个位置处。 当两个光栅相对运动时，穿过光栅尺的光得到调制。 如果狭缝对齐，则光线穿过。 如果一个光栅的刻线与另一个光栅的狭缝对齐，光线无法通过。 光电池将这些光强变化转化成电信号。 特殊结构的扫描掩膜将光强调制为近正弦输出信号。 栅距越小，扫描掩膜和圆光栅间的距离公差也越严。 如果成像扫描编码器的光栅栅距为10 m或更大，编码器的安装公差相对宽松。
ECN，EQN，ERN，ROC，ROQ，ROD和ERO旋转编码器以及RCN，RON，ROD和ERA角度编码器以及LC，LS，LB和LIDA直线光栅尺都采用成像扫描方法。

海德汉光栅尺或编码器干涉扫描原理
干涉扫描原理是利用精细光栅的衍射和干涉形成位移的测量信号。 阶梯状光栅用作测量基准： 在平反光面上刻制线高0.2 m的反光线。 光栅尺的前面是扫描掩膜，其栅距与光栅尺的栅距相同，它是透射相位光栅。
干涉光栅尺的栅距一般为8 m、4 m甚至更小。 其扫描信号基本没有高次谐波，能进行高倍频细分。 因此，这些光栅尺适用于高分辨率和高精度应用。
LF，LIP，LIF和PP直线光栅尺以及RPN或ERP角度编码器为采用干涉测量方法的测量系统。

海德汉光栅尺或编码器:吴海凤
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