newport IMS-LM 线性电机平移台具有zui长的行程长度和线性电机，在提升速度和平顺性的同时，保留了坚硬的铝制机身和坚固耐用的组件，可在高占空比应用中实现亚微米分辨率。

特点:

1.非接触直接驱动系统，可实现高动态响应和高可靠性
2.铁芯线性电机，可实现快速和可重复定位
3.高分辨率线性编码器，可用于亚微米级重复性和 20 nm MIM
4.为刚性 XY 组件而设计的刚性主体，行程可达 600 x 600 mm
5.带笼式滚珠的循环轴承能够确保静音运动
6.即插即用的 ESP 控制器兼容性

M-IMS1000LM-S线性平台适用于1000毫米行程的自支撑应用。该舞台具有坚固的设计和低成本的高性能，使其成为精密工业和实验室应用的高性价比解决方案。IMS采用FEM优化的挤压铝制主体，以避免弯曲效应或负载下的挠曲。线性电机采用中心率的三相同步铁芯，直线电机作为驱动元件，提供高速，高加速度和高系统响应能力。IMS系列平台非常适用于许多精密工业应用，如半导体晶圆检测，微电子测试和装配，DNA测序或激光加工。
行程范围：1000毫米
zui大速度：1000毫米/秒
zui小位移增量：0.020微米
电机持续驱动力：100 N
峰值驱动力：210 N
中心负载：600 N
精度典型值： ±4.0μm
精度保证值： ±9.0μm
双向重复精度典型值： ±0.12μm
双向重复精度保证值： ±0.50μm
俯仰典型值：±112μrad
俯仰保证值：±225微弧度
俯仰顺应性：0.2μrad/ N·m
偏摆典型值：±40μrad
偏摆保证值：±150μrad
偏摆顺应性：1μrad/ N·m
滚转顺应性：1μrad/ N·m
编码器分辨率：1 Vpp 20μm间距
限位开关：光纤
原点：光学居中
原点重复精度：±0.05μm
螺纹类型：M6
重量：28公斤
MTBF：20,000小时（25％负载，30％占空比）
RoHS指令：合规