| 类型 | 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar | 0.02 ... 0.01Torr / mbar |
|---|
| 准确度（1） | 阅读的百分比 | 0.15 | - |
| 精确 | 阅读的百分比 | - | 0.2 |
| 温度效应 | | |
| 在零... 1000乇/毫巴 | 百分比FS /℃ | 0.0025 | - |
| 零点0.5 ... 0.05 Torr / mbar | 百分比FS /℃ | 0.005 | - |
| 零点0.02 ... 0.01 Torr | 百分比FS /℃ | - | 0.01 |
| 在跨度上 | 读数百分比/°C | 0.01 | 0.01 |
| 大压力 | | |
| P大1000Torr / mbar | kPa（绝dui值） | 400 | 400 |
| P大500 ... 1Torr / mbar | kPa（绝dui值） | 260 | 260 |
| P大0.5 ... 0.01Torr / mbar | kPa（绝dui值） | 130 | 130 |
| 解析度 | 百分比FS | 0.003 | 0.003 |
| 低的阅读 | 百分比FS | 0.01 | 0.01 |
| 低的建议阅读 | 百分比FS | 0.05 | 0.05 |
| 建议的低控制压力 | 百分比FS | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | | |
| 操作（环境） | C | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
| 法兰烘烤 | C | ≤110 | ≤110 |
| 存储 | C | -20 ... +85 | -20 ... +85 |
| 电源电压 | | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） |
| 能量消耗 | | |
| 在加热期间 | w ^ | ≤14 | ≤14 |
| 在工作温度下 | w ^ | ≤9 | ≤9 |
| 输出信号（模拟） | V（直流） | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
| 响应时间（2） | 女士 | 2 | |
| 防护等级 | | IP 30 | IP 30 |
| 标准 | | |
| CE符合性 | | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS |
| ETL认证 | | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 |
| SEMI合规性 | | SEMI S2 | SEMI S2 |
| 电气连接 | | D-sub，15极，男 | D-sub，15极，男 |
| 设定点 | | |
| 设定点数 | | 2（SP1，SP2） | 2（SP1，SP2） |
| 继电器接触 | V（直流） （dc） | ≤30 | ≤30 |
| 滞后 | 百分比FS | 1 | 1 |
| 诊断端口 | | |
| 协议 | | USB | USB |
| 读 | | 压力，状态，身fen证 | 压力，状态，身fen证 |
| 组 | | 设定点，滤波器，零点调整，出厂重置，DC偏移 | 设定点，滤波器，零点调整，出厂重置，DC偏移 |
| 材料暴露在真空中 | | 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L （4）） | 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L （4）） |
| 内部音量 | | |
| I.体积1/2''管 | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.体积DN 16 ISO KF | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.体积DN 16 CF-R | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.第8卷VCR® | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| 重量 | | |
| 重量1/2“管 | G | 837 | 837 |
| 重量DN 16 ISO KF | G | 852 | 852 |
| 重量DN 16 CF-R | G | 875 | 875 |
| 重量8VCR® | G | 897 | 897 |
| | | | |
| EtherCAT的 | | |
| 协议EtherCAT | | 于EtherCAT的协议 | 于EtherCAT的协议 |
| 通信标准 | | ETG.5003第1部分“半导体器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空压力表” | ETG.5003第1部分“半导体器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空压力表” |
| 节点地址 | | 显式设备标识 | 显式设备标识 |
| 物理层 | | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） |
| 数字功能读取 | | 压力，状态，身fen证 | 压力，状态，身fen证 |
| 数字功能设置 | | 设定点，滤波器，零点调整，复位，DC偏移 | 设定点，滤波器，零点调整，复位，DC偏移 |
| 处理数据 | | 修复了PDO映射和可配置的PDO映射 | 修复了PDO映射和可配置的PDO映射 |
| （CoE） | | SDO请求，响应和信息 | SDO请求，响应和信息 |
| EtherCAT连接器 | | RJ45,8针（插座），IN和OUT | RJ45,8针（插座），IN和OUT |
| 电缆 | | 屏蔽以太网CAT5e或更高 | 屏蔽以太网CAT5e或更高 |
| 电缆长度 | 米（英尺） | ≤100（330） | ≤100（330） |
