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美国ALICAT气体质量流量计MC-200SCCM-DD

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产品型号:
产品报价:
8500
产品特点:
用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工,美国ALICAT气体质量流量计MC-200SCCM-DD。
  美国ALICAT气体质量流量计MC-200SCCM-DD的详细资料:

美国ALICAT气体质量流量计MC-200SCCM-DD

美国ALICAT气体质量流量控制器M-20LPM-O-NL/5M必须快速准确,以建立稳定的流量。我们的质量流量控制器比其他任何一个都能更快地达到设定点,这使得它们能够在线路压力波动影响下游过程之前抑制它们的波动。定制的阀门选项和工厂PID调节确保您的MFC在您的特定应用中表现良好。

用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
该MC 系列是我们的标准质量流量控制器,具有能够测量流速高达5000标准升每分钟或低至0.0025 SCCM模型。 当管路压力较高(145-305 psig)时选择  MCQ。在  MCW  系列是最适合低压降的应用,泄漏测试和用于降低在50 scccm或更低的流速气动响应时间。如果您需要直接替换现有的热质量流量控制器,MCE 系列将阀门折入内部以使其过程连接符合SEMI标准长度。对于真空应用,MCV 在MCE外形上增加了一个气动截止阀。BASIS 是Alicat的紧凑型质量流量控制器系列,专为OEM应用和大批量订单而设计。

流量计一般分为以下几种类型:
1. 容积式流量计,又称定排量流量计。它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分,根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。
2. 浮子式流量计,又称转子流量计,是变面积式流量计的一种,在一根由下向上扩大的垂直锥管中,圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的,从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。
3. 差压式流量计 ,是根据安装于管道中流量检测件产生的差压,已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。
4. 涡街流量计,在流体中安放一根非流线型游涡发生体,流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。
5. 涡轮流量计,是速度式流量计中的主要种类,它采用多叶片的转子(涡轮)感受流体平均流速,从而推导出流量或总量的仪表。
6. 超声流量计,通过检测流体流动对超声束(或超声脉冲)的作用以测量流量的仪表。
7. 电磁流量计,电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。
8. 热式流量计,热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。美国ALICAT气体质量流量计MC-200SCCM-DD

基于压力的质量流量仪表,具有蕞佳性能。
大多数流量仪表的读数精度为0.6%
响应时间为4毫秒
没热身
四个过程变量
内置显示屏
工业协议
压力补偿
温度补偿
宽动态流量范围

 

应用:
用于pH控制的气体喷射(MC)
通过快速调整控制宽流量范围内的质量流量,以适应​​不断变化的流量要求。
甚至更快的泄漏测试(MCW)
设置为控制压力的“耳语”质量流量控制器在一个装置中起到压力控制器和质量流量计的作用。
用于反应溅射的气体流量控制(MCV)
精确控制真空室内活性气体的分压,并在气流阀的无流量条件下保持紧密关闭。
OEM气体分析仪的流量控制(BASIS)
小尺寸,即时控制准备和双重通信使BASIS易于构建到最终用户产品中。

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